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2024.11.26

「SEMICON Japan2024」参展信息

【中国語】(簡体字)
「SEMICON Japan 2024」已圆满结束。
非常感谢各位嘉宾莅临本公司展位。


【先台湾語】(繫体字)
「SEMICON Japan 2024」已圓滿結束。
非常感謝各位嘉賓蒞臨本公司展位。


SEMICON Japan是覆盖半导体行业制造技术、设备、材料以及汽车和物联网设备等智能应用的国际电子制造展览会。
西村化工将以自家产品为首,同时展示我们代理的海外半导体设备和材料。我们致力于提供简明易懂的展出,诚邀您莅临参观。

■ 参展概要

我们将在公司的展位上,介绍以下10项产品。

1:西村化工(日)研磨液 / 化学品稀释供应系统
2:西村化工(日) D/C自动储罐柜系统、储罐搅拌系统
3:ENTEGRIS(美)/ 西村化工(日)
  集成On-Line分析系统的Slurry/Chemical供应系统
4:UNISEM(韩) 废气净化设备
5:LOT VACUUM(韩) 真空泵/PPS
6:LOT CES(韩) PPS(Plasma Pre-treatment System)
7:SEMI-TS(韩) N2清扫系统 LP
8:GTA(台)晶圆切割保护膜
9:Quantum Science(英)高性能SWIR图像传感器材料及支持半导体制造的量子点
10:普清浄化 PUQING PURIFICATION(中) PE/尼龙 洁净袋

诚邀您光临我司展位参观。


■ 参展产品(预定)

  • 化学品供应设备 / 株式会社西村化工

    研磨液 / 化学品稀释供应系统、全自动储罐柜系统

    ①研磨液/化学品稀释供应系统
    这是一个将超纯水与研磨液原浆+添加剂(H2O2)等在进入CMP设备前直接调配并供应的装置。(多液混合)
    可轻易改变的液体浓度,即使是供应过程中也可以进行更改。不必担心保质期、劣化等问题,供应PureSlurry。
    ②全自动储罐柜系统(D/C自动装置)
    实现了完全自动化的储罐更换和供应,解决了传统手动更换储罐作业中出现的问题(如桶的掉落、倾倒、设置错误和化学品浪费)。
    通过24小时的储罐自动更换,实现稳定的原液供应,从而降低储罐更换带来的成本和时间损失,提高运行效率。

  • 集成On-Line分析系统的Slurry / Chemical供应系统

    我们提供在以In-Line Mixing为特性的NYS研磨液/化学品供应系统上,集成高精度、高倍稀释调配系统、
    LPC Monitor和Chemical Monitor的方案。

    通过集成具有实验室分析设备相同精度的LPC测量仪和化学浓度测量仪,并进行趋势管理,
    从而抑制由于供应的研磨液/化学品引起的故障,实现更高精度的浓度控制。

  • 半导体工艺废气净化设备 / UNISEM(韩)

    UNISEM是韩国最具代表性的半导体/液晶工艺废气净化设备/冷却器制造商。
    在废气净化设备方面,拥有Burn-wet式、Plasma式等多种产品线,并在国内芯片厂商中有超过500台的交付业绩。
    随着台数的增加,西村化工加强了与UNISEM的合作,作为国内窗口,承担了从安装、保养维护、到售后故障排除的职责。

  • 真空泵 / LOT VACUUM(韩)

    韩国的真空设备制造商LOT VACUUM是专注于半导体/液晶/太阳能领域的干式真空泵制造商。
    由于半导体和液晶面板的前段工序多在真空状态下进行,需要通过真空泵将一定空间内包含气体在内的物质吸出以创造真空状态。
    该公司的泵采用螺杆(Screw)方式,在相同形状的螺旋耦合旋转时吸入和排出气体,
    与其他公司使用的根(Roots)泵相比,部件数量较少且排气量更高,这是其优势所在。

  • PPS(Plasma Pre-treatment System)/ LOT CES(韩)

    这是一个安装在泵的前端部分(真空管道)上,将有毒/易燃气体处理为安全气体的系统。
    在管道PM时,为了防止因ZrO、HfO、TiO等工艺副产物引起的发热、起火、爆炸等问题,
    从环境安全的角度,该工艺被广泛采用。

    特征
    将有毒/易燃气体改质为安全气体
    将副产物分解并排放
    将副产物的颗粒尺寸最小化
    延长泵的MTBF(减少维护成本)

  • N2清扫系统 LP / SEMI-TS(韩)

    SEMI-TS自2014年创立之初,便开始了在半导体制造过程中不可或缺的AMHS解决方案的业务。
    公司从事300mm FAB的洁净传送带、E84传感器业务、智能清扫系统和Smart OHT的开发等业务。

  • 晶圆切割保护膜 / GTA(台)

    激光加工用水溶性保护膜
    激光加工用水溶性保护膜是一种水性聚合物溶液,通过在激光加工面上进行旋涂,
    大幅减少碎屑附着,有助于提高芯片加工的可靠性。

    切割添加剂
    切割添加剂是一种水性聚合物溶液,可快速分散切割过程中产生的晶圆碎片,
    防止碎片堆积在晶圆表面,从而减少腐蚀和污染问题。

  • 量子点 / Quantum Science(英)

    高性能SWIR图像传感器材料及支持半导体制造的量子点

    为了实现高性能且低成本的SWIR图像传感器,
    我们提供支持图像传感器或传感器材料及半导体制造的量子点产品和技术服务。
    与现有的SWIR技术相比,大幅降低了成本,将为未来的SWIR产品市场带来变革。

  • 包装材料

    PE / 尼龙的洁净袋 / 普清浄化 PUQING PURIFICATION(中)

    本产品是无尘洁净室专用包材。(AMAT认证厂商,全程在ISO-Class 5级别的洁净室中生产)
    非常适合半导体设备、零部件、半导体级高纯度原材料以及晶圆等的包装使用。
    ◆产品系列:Class 100级别的的PE/尼龙洁净袋、PE/ESD防静电袋、纯/复合尼龙袋、铝箔袋、耗材等。
    作为AMAT、ASMC、NAURA等的认证厂商,被众多供应商采用。预计也将获得Lam Research的认证。

■ 时间・会场

时间
2024年12月11日 (周三) 〜 13日 (周五)
场所
TOKYO BIG SIGHT
≫如何访问会场请点击此处
主办方
SEMI JAPAN

■ 会场资讯

展位信息
东4 展厅 4821