EN JP
English Japanese

实现化学品、研磨液供应的稳定化，降低不良率，提高成品率

西村化工

电子器件（半导体、FPD、电子部件）领域
化学品、研磨液供应设备

实现化学品、研磨液供应的稳定化，
降低不良率，提高成品率。
通过最优化化学品、
研磨液供应设备的规格，
实现生产线整体的生产率提升。

通过视频介绍过去各款独一无二的产品设计、
制造实例

  • 研磨液稀释供应设备

  • 阀门箱

  • 化学品稀释供应设备

  • 原液储罐柜

实际上……

虽然CMP设备往往更受关注，

但是，使化学品、研磨液供应设备最优化才是提高生产率的关键

实施最优化时的供应方式比较

Local Supply System（个别供应设备）

  • Advantage优点
    1. 可以按各个连接设备分别调整
    2. 每台供应设备的费用相对便宜，可控制初期费用
    3. 可灵活应对实机测评
      （便于根据各个设备分别变更化学液）
    4. 连接的设备较少，
      因此进行维修恢复作业时对量产生产线造成的负担也较轻
  • Disadvantage缺点
    1. 若同一工序中的CMP设备数量增多，需引入的相应设备也会随之增加，导致合计费用容易变得高昂
    2. 若同一工序中的CMP设备数量增多，需引入的相应设备也会随之增加，从而需要确保有宽阔的设置场所
      （扩大占地面积）
    3. 备份系统为选购项（发生警报时会停止供应）

Central Supply System（集中供应设备）

  • Advantage优点
    1. 即使有多台连接设备，
      只需一台集中供应设备即可应对，从而可控制设备费用
    2. 可大流量地输送化学液，供应能力强。
      （通过阀门分配箱（VMB）、阀门盒连接）
    3. 与连接对象设备相比，占地总面积较小
    4. 能够以稳定的浓度大流量地输送并进行实时监控
  • Disadvantage缺点
    1. 连接台数较少时难以获得较高的性价比，但进入连接多台的阶段后，性价比也随之提升
    2. 进行维修恢复作业时，对量产生产线影响很大
      ※有应对处理方法。参照下述图解
    3. 应对实机测评的灵活性较低
      ※有应对处理方法。需咨询

世界顶级
西村化工的原创技术

行业顶峰的余度技术！
即便在紧急突发情况下，也不会停止供应化学品、研磨液。不会中断

各款独一无二的产品设计及制造实例

研磨液稀释供应设备（Slurry Supply）

  • 集中供应
    （Central Supply）

  • 阀门箱

  • 个别供应
    （Local Supply）

化学品稀释供应设备（Chemical Supply）

  • 集中供应
    （Central Supply）

  • 阀门箱

  • 个别供应
    （Local Supply）

  • 原液储罐柜

    原液储罐柜

  • 化学品供应（特殊设备）

    化学品供应
    （特殊设备）

  • 即时调配设备※研发中

    详情敬请垂询

(c) NISHIMURA CHEMITECH 2019